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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR NONVOLATILE MEMORY
摘要
申请公布号 JPH06310732(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930094589 申请日期 1993.04.21
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 UCHIYAMA AKIRA
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
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