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发明名称 SEMICONDUCTOR HEAT TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06310455(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930096363 申请日期 1993.04.23
申请人 NEC YAMAGATA LTD 发明人 WATABE YASUNORI
分类号 H01L21/324;H01L21/22;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/324
代理机构 代理人
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