发明名称 |
EQUIPMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING AMORPHOUS CARBON HYDRIDE FILM |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06310430(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
申请号 |
JP19930098240 |
申请日期 |
1993.04.26 |
申请人 |
FUJI ELECTRIC CO LTD |
发明人 |
SATO NORITADA;ISHIWATARI OSAMU |
分类号 |
H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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