| 发明名称 |
ETCHING METHOD FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06310489(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
| 申请号 |
JP19930094084 |
申请日期 |
1993.04.21 |
| 申请人 |
NISSAN MOTOR CO LTD |
发明人 |
NOJIRI HIDETOMO;IWASAKI YASUKAZU |
| 分类号 |
H01L21/3063;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/3063 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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