| 发明名称 |
ION IMPLANTATION SUBSTRATE HEATING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06310079(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
| 申请号 |
JP19930101349 |
申请日期 |
1993.04.27 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
YAMAZAKI HAJIME |
| 分类号 |
C23C14/50;H01J37/20;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 |
主分类号 |
C23C14/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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