发明名称 |
WIRING STRUCTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
|
申请公布号 |
JPH06310511(A) |
申请公布日期 |
1994.11.04 |
申请号 |
JP19930095667 |
申请日期 |
1993.04.22 |
申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
ONO HIDEAKI;NAKANO TADASHI |
分类号 |
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 |
主分类号 |
H01L23/52 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|