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发明名称 Multimoden-Halbleiterlaser-Interferometer.
摘要
申请公布号 DE68916742(T2) 申请公布日期 1994.11.03
申请号 DE19896016742T 申请日期 1989.10.18
申请人 CANON K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 ISHIZUKA, KO, URAWA-SHI SAITAMA-KEN, JP;NISHIMURA, TETSUHARU, KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;KUBOTA, YOICHI, KAWASAKI-SHI KANAGAWA-KEN, JP;TSUKIJI, MASAAKI, TOKYO, JP;ISHII, SATOSHI, TOKYO, JP
分类号 G01B9/02;G01B11/00;G01D5/38;H01S5/068;(IPC1-7):G01B9/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
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