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经营范围
发明名称
Negativ-Photoresist und seine Anwendung.
摘要
申请公布号
DE69012873(D1)
申请公布日期
1994.11.03
申请号
DE19906012873
申请日期
1990.03.13
申请人
INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US
发明人
HATZAKIS, MICHAEL, CHAPPAQUA, N.Y. 10 514, US;SHAW, JANE MARGARET, RIDGEFIELD, CONNECTICUT 06 877, US;STEWART, KEVIN JAY, LAKE PEEKSKILL, N.Y. 10 537, US
分类号
G03F7/038;C08G59/00;C08G59/14;C08G59/18;G03F7/004;G03F7/029;G03F7/075;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/038
主分类号
G03F7/038
代理机构
代理人
主权项
地址
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