| 摘要 |
La présente invention concerne un canon à faisceau ionique dans lequel les ions sont produits par excitation à fréquence radioélectrique. On crée un plasma dans un récipient (100) pour chambre, en ionisant les molécules de gaz à l'aide d'une bobine (230) vers l'extérieur du récipient. La bobine (230) reçoit l'énergie à fréquence radioélectrique qui ionise les molécules de gaz. L'intérieur du récipient contient une anode (242, 244) et un résonateur (250) pour aider à modeler et contenir le plasma. Le résonateur (250) agit comme une électrode interne pour produire les courants de Foucault générés par l'énergie à fréquence radioélectrique afin d'améliorer le plasma. Une grille-écran multitrous (260) permet également de contenir et modeler le plasma dans la chambre alors qu'une grille-accélérateur (262) multitrous est utilisée pour extraire les ions du canon à faisceau ionique. |
