| 发明名称 |
Method and apparatus for treatment or coating of substrates. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0511492(B1) |
申请公布日期 |
1994.11.02 |
| 申请号 |
EP19920105098 |
申请日期 |
1992.03.25 |
| 申请人 |
SCHOTT GLASWERKE;CARL-ZEISS-STIFTUNG TRADING AS SCHOTT GLASWERKE |
发明人 |
OTTO, JUERGEN |
| 分类号 |
C23C16/50;C23C4/00;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/50 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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