金刚石红外增透保护薄膜及制备工艺

摘要

用人工化学气相沉积技术制备的金刚石多晶薄膜可以作为红外增透保护膜，其硬度为6000～10000kg/mm²，不怕酸、碱腐蚀，大气中耐温500℃以上，可在恶劣环境条件下使用。该膜采用基板超声预处理，在优化工艺条件下人工化学气相沉积等技术措施制备。本发明可广泛应用于冶金、化工、航天航空、军事等工业和科研领域，如工业生产线上的红外在线探测、战地及野外环境中的红外夜视仪等。可提高仪器的灵敏度、频率选择性及稳定性等，并能大幅度地延长仪器的使用寿命。

主权项

1、一种红外增透保护薄膜，其特征在于该膜为一种用人工化学气相沉积技术制备的金刚石多晶薄膜，其硬度：6000～10000kg/mm2，不怕酸、碱腐蚀，大气中耐温500℃以上，真空中耐高温3500℃；在整个红外波段范围内均透明，折射率为2.0～2.4。