发明名称 |
多功能探针头 |
摘要 |
一种多功能探针头,由探针、弹簧片、套筒、导线等组成,采用耙形弹簧片并用环氧定位环安装定位的结构,使弹簧片与探针达到准确对位,探针恒压可靠,从而提高探针头的测量精度和保护被测物体表面不易损伤。 本实用新型结构精密,耙形弹簧片占用平面长度短,体积小,加工制造容易,成本低,并可针对不同的测量对象,选用特定材料及形状的金属探针,具有可以测量半导体材料、功能材料、导电薄膜的电阻率、面电阻、型号及击穿电压等多种功能。 |
申请公布号 |
CN2181697Y |
申请公布日期 |
1994.11.02 |
申请号 |
CN93217110.9 |
申请日期 |
1993.06.26 |
申请人 |
广州半导体材料研究所;广东省有色金属工业总公司天河科技开发公司 |
发明人 |
王世进;张郁华 |
分类号 |
G01R15/00;G01R27/00 |
主分类号 |
G01R15/00 |
代理机构 |
广东专利事务所 |
代理人 |
李志明 |
主权项 |
1、一种多功能探头针头,由上盖(2)、套筒(3)、锥套(4)、探针(6)、弹簧片(7)、环氧定位环(11)及导线(12)等组成,其特征在于弹簧片(7)是一个耙形弹簧片,耙形弹簧片(7)安装固定在环氧定位环(11)上,其耙条端弹压在探针(6)上,达到耙形弹簧片(7)与探针(6)的准确对位。 |
地址 |
510610广东省广州市河东莞庄 |