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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0687468(B2) 申请公布日期 1994.11.02
申请号 JP19870111254 申请日期 1987.05.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/56;H01L23/29;H01L23/31;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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