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发明名称 MANUFACTURING DEVICE FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH06306599(A) 申请公布日期 1994.11.01
申请号 JP19930096396 申请日期 1993.04.23
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 OKAMOTO RINTAROU
分类号 C23C14/34;C23C14/50;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/687;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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