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发明名称 METHOD FOR PRODUCING STRUCTURES FOR INTEGRATED CIRCUITS WITH DIELECTRIC INSULATION
摘要
申请公布号 RU2022405(C1) 申请公布日期 1994.10.30
申请号 SU19925046022 申请日期 1992.06.04
申请人 SEROUSOV IGOR YU 发明人 SEROUSOV IGOR YU
分类号 H01L21/76;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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