| 发明名称 |
DEVELOPER FOR PHOTOSENSITIVE POLYIMIDE PRECURSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06301217(A) |
申请公布日期 |
1994.10.28 |
| 申请号 |
JP19930090130 |
申请日期 |
1993.04.16 |
| 申请人 |
TORAY IND INC |
发明人 |
KUSANO KAZUTAKA;EGUCHI MASUICHI;ASANO MASAYA |
| 分类号 |
G03F7/32;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G03F7/32 |
主分类号 |
G03F7/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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