| 发明名称 |
RECEIVING/DELIVERING APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06302672(A) |
申请公布日期 |
1994.10.28 |
| 申请号 |
JP19930113890 |
申请日期 |
1993.04.16 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD |
发明人 |
SHIMAZAWA TATSUYA;SHIMIZU MASAYUKI;KIGA TOSHIO |
| 分类号 |
H01J37/317;H01L21/265;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01J37/317 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
