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发明名称 SEMICONDUCTOR CHIP CLEANING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06302575(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930087680 申请日期 1993.04.15
申请人 FUJITSU LTD 发明人 KAMATA OSAMU;IIJIMA NOBUO
分类号 B08B11/02;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B11/02
代理机构 代理人
主权项
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