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发明名称 TREATING APPARATUS FOR SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH06302577(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930087375 申请日期 1993.04.14
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 KOMORI KAZUHIKO
分类号 H01L21/304;H01L21/306;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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