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发明名称 FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06302620(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930109941 申请日期 1993.04.12
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 KADOTA KOJI
分类号 H01L21/28;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
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