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发明名称
RELIABILITY EVALUATION METHOD AND DEVICE THEREFOR
摘要
申请公布号
JPH06302659(A)
申请公布日期
1994.10.28
申请号
JP19930087044
申请日期
1993.04.14
申请人
MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD
发明人
HIRASE JUNJI
分类号
H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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