发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06302646(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930087465 申请日期 1993.04.14
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TANE YASUO;SHIBAYAMA MAKOTO
分类号 H01L21/28;H01L21/60;(IPC1-7):H01L21/60 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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