发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR MANUFACTURING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06302570(A) |
申请公布日期 |
1994.10.28 |
申请号 |
JP19930113613 |
申请日期 |
1993.04.15 |
申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
KAWAMURA KOICHIRO;KASAGI YASUO |
分类号 |
H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 |
主分类号 |
H01L21/304 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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