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发明名称 FILM DEFECT PART INSPECTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06300708(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930176272 申请日期 1993.04.19
申请人 OLYMPUS OPTICAL CO LTD 发明人 NAKAZAWA ISAO
分类号 G01N21/89;G01N21/892;(IPC1-7):G01N21/89 主分类号 G01N21/89
代理机构 代理人
主权项
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