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发明名称 ION BEAM MILLING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06302552(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930087493 申请日期 1993.04.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKAGAWA YUKIO;OISHI SEITARO;TANAKA SHIGERU;ONUKI HISAO
分类号 C23C14/48;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
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