| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR SUBSTRATE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06302791(A) |
申请公布日期 |
1994.10.28 |
| 申请号 |
JP19930091686 |
申请日期 |
1993.04.19 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
TAKAHASHI KUNIHIRO;YAMAZAKI TSUNEO;TAKASU HIROAKI;SAKURAI ATSUSHI |
| 分类号 |
H01L21/265;H01L21/02;H01L21/76;H01L21/762;H01L27/12;(IPC1-7):H01L27/12 |
主分类号 |
H01L21/265 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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