发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06302700(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930090318 申请日期 1993.04.19
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 JINRIKI HIROSHI;KAIZUKA KENJI;OOTA TOMOHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/3205;H01L21/82;H01L23/52;H01L27/118;(IPC1-7):H01L21/82;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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