发明名称 High resolution photoresist of imide containing polymers
摘要
申请公布号 SG104194(G) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 SG19940001041 申请日期 1994.07.29
申请人 HOECHST CELANESE CORPORATION 发明人
分类号 (IPC1-7):G03F7/10 主分类号 (IPC1-7):G03F7/10
代理机构 代理人
主权项
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