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发明名称 LASER DOPING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06302531(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930107445 申请日期 1993.04.09
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TAMAKI TERUYUKI;UEDA KENJI;MATSUMOTO TAKAHIRO;HASEGAWA NOBORU
分类号 H01L21/22;H01L21/268;H01S3/00;(IPC1-7):H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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