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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR ON FLUORINE COMPOUND
摘要
申请公布号 JPH06302515(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930088625 申请日期 1993.04.15
申请人 NEC CORP 发明人 ANAMI TAKAYOSHI
分类号 C23C14/06;H01L21/203;H01L21/86;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C23C14/06
代理机构 代理人
主权项
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