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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPH06302769(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930090250 申请日期 1993.04.16
申请人 SONY CORP 发明人 NOGUCHI TAKASHI
分类号 H01L21/265;H01L21/268;H01L21/8249;H01L27/06;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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