| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE HAVING MULTILAYER WIRING STRUCTURE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06302702(A) |
申请公布日期 |
1994.10.28 |
| 申请号 |
JP19930140886 |
申请日期 |
1993.06.11 |
| 申请人 |
KAWASAKI STEEL CORP |
发明人 |
KOUNO YUMIKO;TAKEYASU NOBUYUKI;YAMAMOTO HIROSHI;OOTA TOMOHIRO |
| 分类号 |
H01L23/52;H01L21/3205;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/90;H01L21/320 |
主分类号 |
H01L23/52 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
