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发明名称 POTTING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06302632(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930085809 申请日期 1993.04.13
申请人 HITACHI LTD;HITACHI TOKYO ELECTRON CO LTD 发明人 AOKI ATSUSHI
分类号 H01L21/56;(IPC1-7):H01L21/56 主分类号 H01L21/56
代理机构 代理人
主权项
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