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发明名称 COATING INSPECTION DEVICE AND METHOD
摘要
申请公布号 JPH06300533(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930090963 申请日期 1993.04.19
申请人 NICHIDEN MACH LTD 发明人 HONDA MOTOHARU
分类号 G01B11/22;G01B11/28;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/22 主分类号 G01B11/22
代理机构 代理人
主权项
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