| 发明名称 |
MINUTE DISPLACEMENT ELEMENT AND MANUFACTURE THEREOF AND TUNNEL CURRENT DETECTOR USING THIS ELEMENT AND INFORMATION PROCESSOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06302874(A) |
申请公布日期 |
1994.10.28 |
| 申请号 |
JP19930107186 |
申请日期 |
1993.04.12 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
OKAMURA YOSHIMASA;TAKAMATSU OSAMU;YANAGISAWA YOSHIHIRO;SHIMADA YASUHIRO;YAMAMOTO KEISUKE |
| 分类号 |
G01B21/30;G01N37/00;G01Q10/04;G01Q60/10;G01Q80/00;G11B9/00;G11B9/14;H01J37/28;H01L41/09;(IPC1-7):H01L41/09 |
主分类号 |
G01B21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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