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发明名称 VAPOR PHASE REACTOR
摘要
申请公布号 JPH06302525(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930112243 申请日期 1993.04.14
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 ITO KENJI
分类号 C23C16/452;C23C16/48;H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 C23C16/452
代理机构 代理人
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