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经营范围
发明名称
FILM FORMATION
摘要
申请公布号
JPH06302587(A)
申请公布日期
1994.10.28
申请号
JP19930087598
申请日期
1993.04.14
申请人
HITACHI LTD;HITACHI ELECTRON ENG CO LTD
发明人
KASAHARA OSAMU;KAWAHARA MASAHITO
分类号
H01L21/31;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/31
主分类号
H01L21/31
代理机构
代理人
主权项
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