| 发明名称 |
ETCHING METHOD FOR SEMICONDUCTOR WAFER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06302580(A) |
申请公布日期 |
1994.10.28 |
| 申请号 |
JP19930112445 |
申请日期 |
1993.04.16 |
| 申请人 |
YAMATAKE HONEYWELL CO LTD |
发明人 |
YAGI HIROSHI;OSADA MITSUHIKO |
| 分类号 |
H01L21/306;B81C1/00;H01L29/84;(IPC1-7):H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/306 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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