| 发明名称 |
FABRICATION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06302593(A) |
申请公布日期 |
1994.10.28 |
| 申请号 |
JP19930089891 |
申请日期 |
1993.04.16 |
| 申请人 |
OKI ELECTRIC IND CO LTD |
发明人 |
USAMI TAKASHI;YOSHIMARU MASAKI |
| 分类号 |
C23C16/40;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/316 |
主分类号 |
C23C16/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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