发明名称 SCHMALBANDIGER EXCIMERLASER.
摘要
申请公布号 DE69012813(D1) 申请公布日期 1994.10.27
申请号 DE19906012813 申请日期 1990.05.18
申请人 KABUSHIKI KAISHA KOMATSU SEISAKUSHO, TOKIO/TOKYO, JP 发明人 WAKABAYASHI, O K.K. KOMATSU SEISAKUSHO, RES. INST., KANAGAWA 254, JP;KOWAKA, M K.K. KOMATSU SEISAKUSHO, RES. INST., KANAGAWA 254, JP;KOBAYASHI, Y K.K. KOMATSU SEISAKUSHO, RES. INS, KANAGAWA 254, JP
分类号 G03F7/20;H01S3/08;H01S3/1055;H01S3/225;(IPC1-7):H01S3/08;H01S3/105 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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