发明名称 Halbleiterbehandlungsvorrichtung und Verfahren.
摘要
申请公布号 DE69012647(D1) 申请公布日期 1994.10.27
申请号 DE19906012647 申请日期 1990.05.18
申请人 APPLIED MATERIALS, INC., SANTA CLARA, CALIF., US 发明人 SEVERNS, DAVID W., SUNNYVALE, CALIFORNIA 94087, US;TOMPSON, BRIAN, CAMPELL, CALIFORNIA 95008, US;LINDSTROM, PAUL R., APTOS, CALIFORNIA 95003, US;CARLSON, DAVID K., SANTA CLARA, CALIFORNIA 95051, US
分类号 H01L21/205;C23C16/54;C30B25/02;C30B35/00;H01L21/673;H01L21/687;(IPC1-7):C23C16/44;H01L21/00 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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