发明名称 Plasma-Neutralisationskathode.
摘要
申请公布号 DE69104142(D1) 申请公布日期 1994.10.27
申请号 DE19916004142 申请日期 1991.06.04
申请人 HAUZER TECHNO COATING EUROPE B.V., VENLO, NL 发明人 ALEXEEVICH, ARKHIPOV BORIS, 236000 KALININGRAD-OBL., SU;MITROFANOVICH, GORBACHEV YURIY, 236005 KALININGRAD-OBL., SU;ALEXEEVICH, IVANOV VIKTOR, 236006 KALININGRAD-OBL., SU;NIKOLAEVICH, KOZUBSKY KONSTANTIN, 236006 KALININGRAD-OBL., SU;ALEXEEVICH, KOMAROV GEORGY, 236039 KALININGRAD-OBL., SU
分类号 H05H1/34;F03H1/00;H01J3/02;H01J37/077;H05H1/24;H05H1/54;(IPC1-7):H01J3/02 主分类号 H05H1/34
代理机构 代理人
主权项
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