| 发明名称 |
Magnetic Roller Gas Gate Employing Transonic Sweep Gas Flow |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
CA2158958(A1) |
申请公布日期 |
1994.10.27 |
| 申请号 |
CA19942158958 |
申请日期 |
1994.02.14 |
| 申请人 |
ENERGY CONVERSION DEVICES, INC. |
发明人 |
DOEHLER, JOACHIM |
| 分类号 |
C23C16/54;H01L21/205;H01L31/04;(IPC1-7):C23C16/54 |
主分类号 |
C23C16/54 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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