发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06302770(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930084917 申请日期 1993.04.12
申请人 OKI ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAKAMURA TAKAHARU
分类号 H01L27/06;H01L21/8249;(IPC1-7):H01L27/06 主分类号 H01L27/06
代理机构 代理人
主权项
地址