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发明名称 Anlage zur Herstellung von Schichten.
摘要
申请公布号 DE69010444(T2) 申请公布日期 1994.10.27
申请号 DE19906010444T 申请日期 1990.10.02
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 TAMURA, HITOSHI, TOTSUKA-KU, YOKOHAMA-SHI, JP;SHIMIZU, TAMOTSU, IZUMI-KU, YOKOHAMA-SHI, JP
分类号 C23C14/34;C23C14/35;C23C16/511;H01J37/32;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C23C14/35;C23C16/50;H01J37/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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