Method for providing high-precision volumetric flow at low flow rate and apparatus therefor.

摘要

Die Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Erzeugung von hochpräzisen Volumenströmen bei geringer Flußrate. Aufgabe der Erfindung ist es, ein Verfahren und eine Vorrichtung zur Verfügung zu stellen, mit der ein kontinuierlicher Volumenstrom erzeugt werden kann. Gelöst wird diese Aufgabe durch zwei parallele Kolbenpumpen welche über zwei Ventile getrennt voneinander beschickt werden können, zwei Ventile, welche die wechselseitige Beschickung einer gemeinsamen Ausgangsleitung durch die beiden Kolbenpumpen erlauben und zwei Differenzdruckmesser zur Erfassung des Differenzdrucks über den beiden Ventilen.