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发明名称 Method for deposition of zinc sulfide films.
摘要
申请公布号 EP0405875(B1) 申请公布日期 1994.10.26
申请号 EP19900306900 申请日期 1990.06.25
申请人 TEXAS INSTRUMENTS INCORPORATED 发明人 HUTCHINS, LARRY D.;YORK, RUDY L.;SMITH, PATRICIA B.;LUTTMER, JOSEPH D.;DAVIS, CECIL J.
分类号 C23C16/30;C23C16/44;H01L21/205;H01L31/0216;H01L31/10;H01L31/18;H01L33/00;(IPC1-7):C23C16/30;C23C16/18;H01L31/025 主分类号 C23C16/30
代理机构 代理人
主权项
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