摘要 |
Selon un procédé d'ionisation de vapeurs de matériaux produites sous une pression négative par voie thermique, les vapeurs de matériaux sont exposées aux électrons émis par les taches cathodiques (6) d'une cathode froide autoconsommable (3, 4). Le dispositif d'évaporation thermique (7) forme l'anode, de sorte qu'une décharge en arc sous vide se forme entre la cathode (3, 4) et l'anode (7). Un dispositif de mise en oeuvre du procédé comprend un support (3) de cathode refroidissable situé dans une chambre de dépression (1), un matériau cathodique (4) appliqué sur le support de cathode (3) pour créer des taches cathodiques sur la cathode froide autoconsommable, un système d'évaporation thermique de matériaux (7, 8, 9) formant l'anode et une paroi (10) forman l'anode auxiliaire qui entoure la cathode et qui est pourvue d'une ouverture opposée à la cathode. |