发明名称 PROCESS FOR IONISING THERMALLY GENERATED MATERIAL VAPOURS AND DEVICE FOR IMPLEMENTING IT.
摘要 Selon un procédé d'ionisation de vapeurs de matériaux produites sous une pression négative par voie thermique, les vapeurs de matériaux sont exposées aux électrons émis par les taches cathodiques (6) d'une cathode froide autoconsommable (3, 4). Le dispositif d'évaporation thermique (7) forme l'anode, de sorte qu'une décharge en arc sous vide se forme entre la cathode (3, 4) et l'anode (7). Un dispositif de mise en oeuvre du procédé comprend un support (3) de cathode refroidissable situé dans une chambre de dépression (1), un matériau cathodique (4) appliqué sur le support de cathode (3) pour créer des taches cathodiques sur la cathode froide autoconsommable, un système d'évaporation thermique de matériaux (7, 8, 9) formant l'anode et une paroi (10) forman l'anode auxiliaire qui entoure la cathode et qui est pourvue d'une ouverture opposée à la cathode.
申请公布号 EP0620868(A1) 申请公布日期 1994.10.26
申请号 EP19930902144 申请日期 1993.01.06
申请人 PLASCO DR. EHRICH PLASMA-COATING GMBH 发明人 EHRICH, HORST
分类号 C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/32 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
主权项
地址