| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR PROTECTING ELECTRICALLY CONDUCTIVE SURFACE IN PLASMA PROCESSING REACTOR |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06298596(A) |
申请公布日期 |
1994.10.25 |
| 申请号 |
JP19940008690 |
申请日期 |
1994.01.28 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
ROBAATO ROBAATOSON;KAMU ESU ROU;JIYON MATSUKUNEIRU HOWAITO |
| 分类号 |
B01J19/08;C23C16/44;C23C16/509;C30B25/08;H01J37/02;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):C30B25/08 |
主分类号 |
B01J19/08 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
