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发明名称 SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06299322(A) 申请公布日期 1994.10.25
申请号 JP19930086336 申请日期 1993.04.13
申请人 SHIBAURA ENG WORKS CO LTD 发明人 HAKAMATA SEI;TAKANO HIROKAZU
分类号 C23C14/04;C23C14/34;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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